Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Автор)
Соавтор:	Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: Издательство ТУСУР 2000
Предметы:	плазменное распыление ионно-плазменные технологии СБИС учебные пособия производство травление тонкие пленки ионное осаждение
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы