|
|
|
|
| LEADER |
06472nam a2200901 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000020682 |
| 008 |
090128s2000 ru_aa l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 586889054X
|
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Данилина, Т. И.
|q Тамара Ивановна
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС:
|b Учебное пособие/
|c Т. И. Данилина, С. В. Смирнов; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b Издательство ТУСУР
|c 2000
|
| 300 |
|
|
|a 140 с.:
|b a-ил.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 137-140
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a плазменное распыление
|
| 653 |
0 |
|
|a ионно-плазменные технологии
|
| 653 |
0 |
|
|a СБИС
|
| 653 |
0 |
|
|a учебные пособия
|
| 653 |
0 |
|
|a производство
|
| 653 |
0 |
|
|a травление
|
| 653 |
0 |
|
|a тонкие пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a ионное осаждение
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p 284920
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p 284921
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p 284922
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p 290592
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p 401994
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-3
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-4
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-5
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-6
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-7
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-8
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 1915-9
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-10
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-11
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-12
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-13
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-14
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-15
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-16
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-17
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-18
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-19
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-20
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-21
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-22
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-23
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-24
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-25
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-26
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-27
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-28
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-29
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-3
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-30
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-31
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-32
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-33
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-4
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-5
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-6
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-7
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-8
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Д 182
|p р/к 2665-9
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.771.14.002(075.8)
|a 621.793:621.382.049.771.14.002(075.8)
|
| 700 |
1 |
|
|a Смирнов, С. В.
|q Серафим Всеволодович
|4 aut
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство образования Российской Федерации21
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Д 182-302514
|
