Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Наука
1994
|
| Серии: | Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев;
Т. 7 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |