Skip to content
  • Language
    • English
    • Русский

Advanced
  • Search
  • Субмикронные технологии/...
  • Cite this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Субмикронные технологии/

Субмикронные технологии/

Bibliographic Details
Corporate Author: Физико-технологический институт21 Российская Академия наук
Other Authors: Репин, В. Н. (Editor)
Format: Book
Language:Russian
Published: М.: Наука 1995
Series:Труды ФТИАН/Гл.ред.К.А.Валиев; Т.9
Subjects:
ионная имплантация
плазменные процессы
КНИ-структуры
субмикронные технологии
микротехнологии
микроэлектроника
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

  • Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
    Published: (1994)
  • Субмикронные интегральные схемы: элементная база и проектирование: монография/
    by: Рындин Евгений Адальбертович, et al.
    Published: (2001)
  • Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07/
    by: Уемура, К. Кензуке
    Published: (2011)
  • Магниточувствительность субмикронных ионнолегированных слоев арсенида галлия
    by: Карлова, Гелия Федоровна
  • Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
    by: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
    Published: (2001)
|   Advanced Search   |   Search Tips   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Loading...