Субмикронные технологии/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Наука
1995
|
| Серии: | Труды ФТИАН/Гл.ред.К.А.Валиев;
Т.9 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 79 с. |
|---|