|
|
|
|
| LEADER |
01497nam a2200265 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000020912 |
| 008 |
060815s1995 ru_ l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Субмикронные технологии/
|c Российская Академия наук, Физико-технологический институт; ред. В. Н. Репин
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Наука
|c 1995
|
| 300 |
|
|
|a 79 с.
|
| 440 |
|
0 |
|a Труды ФТИАН/Гл.ред.К.А.Валиев;
|v Т.9
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a ионная имплантация
|
| 653 |
0 |
|
|a плазменные процессы
|
| 653 |
0 |
|
|a КНИ-структуры
|
| 653 |
0 |
|
|a субмикронные технологии
|
| 653 |
0 |
|
|a микротехнологии
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С89
|p 275584
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С89
|p 275585
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77-933
|
| 700 |
1 |
|
|a Репин, В. Н.
|4 edt
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Физико-технологический институт21
|a Российская Академия наук
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/С89-475638
|
