Субмикронные технологии/

Субмикронные технологии/

Библиографическая информация
Соавтор:	Физико-технологический институт21 Российская Академия наук
Другие авторы:	Репин, В. Н. (Редактор)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	М.: Наука 1995
Серии:	Труды ФТИАН/Гл.ред.К.А.Валиев; Т.9
Предметы:	ионная имплантация плазменные процессы КНИ-структуры субмикронные технологии микротехнологии микроэлектроника
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Публикация: (1994)

Субмикронные интегральные схемы: элементная база и проектирование: монография/
по: Рындин Евгений Адальбертович, et al.
Публикация: (2001)

Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07/
по: Уемура, К. Кензуке
Публикация: (2011)

Магниточувствительность субмикронных ионнолегированных слоев арсенида галлия
по: Карлова, Гелия Федоровна

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
по: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Публикация: (2001)

Ионная имплантация
по: Комаров, Фадей Фадеевич
Публикация: (1994)

Ионная имплантация в металлы
по: Комаров, Фадей Фадеевич
Публикация: (1990)

Особенности формирования и локализации наноразмерных интерметаллидных фаз в системе Ti-Al в условиях ионной имплантации

Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/
по: Симонов, В. В. Владимир Валентинович, et al.
Публикация: (1988)

The effect of As+ Ion implantation and annealing on the electrical properties of near-surface layers in graded-gap n-Hg0.78Cd0.22Te films

Альтернативные технологии создания структур с квантовыми точками Ge/Si

Ионная имплантация в узкозонные твердые растворы CdxHg1-xTe
по: Талипов, Нияз Хатимович

Влияние имплантации ионов As+ и последующего отжига на электрические свойства приповерхностных слоев варизонных пленок n-Hg0.78Cd0.22Te

Применение ионной имплантации в геммологии

Роль размера зерен поликристаллического титана в формировании концентрационных профилей имплантируемых ионов алюминия

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Влияние воздействия ионов алюминия на размер зерна ультрамелкозернистого титана
по: Никоненко, Алиса Владимировна

Влияние ионной имплантации на структурно-фазовое состояние и коррозионные свойства титана с различным размером зерна

Ионная имплантация алмаза

Ion implantation in β-Ga2O3: Physics and technology

Дефекты в имплантированных мышьяком р+n- и n+p-структурах на основе пленок CdHgTe, выращенных МЛЭ

Ion implantation in narrow-gap CdxHg1-xTe solid solutions
по: Talipov, Niyaz Kh

Analysis of carrier species in arsenic-implanted p- and n-type Hg0.7Cd0.3Te

Современные технологии производства интегральных схем [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки "Автоматизация технологических процессов и производств"]
по: Ланина, Эльвира Прокопьевна
Публикация: (2022)

Модификация структуры и свойств твердых тел пучками тяжелых ионов высоких энергий: монография/
по: Гольцев, М. В. Михаил Всеволодович, et al.
Публикация: (2006)

Формирование наноразмерных интерметаллидных фаз в условиях имплантации ионами алюминия титановых мишеней

Structural phase states in nickel-titanium surface layers doped with silicon by plasma immersion ion implantation

Электрофизические характеристики МДП-структур на основе МЛЭ КРТ после ионной имплантации бора

Имплантация ионов бора в варизонные эпитаксиальные пленки МЛЭ КРТ

Admittance studies of modification of HgCdTe surface properties with ion implantation and thermal annealing

Influence of As+ Ion implantation on properties of MBE HgCdTe near-surface layer characterized by metal-insulator-semiconductor techniques

Электронная промышленность научно-технический сборник : [журнал]
Публикация: (1970)

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
по: Голишников, Александр Анатольевич
Публикация: (2011)

Исследование методом спектроскопии адмиттанса МДП-структур на основе МЛЭ Hg1-xCdxTe после ионной имплантации бора

Структурные закономерности формирования интерметаллидных наноразмерных фаз в процессе ионной имплантации
по: Курзина, Ирина Александровна

Влияние имплантации ионами Ag, C и Ar на поверхностные характеристики полилактида и политетрафторэтилена

Медицинский полиуретан с улучшенной биосовместимостью после обработки методом ионной имплантации

Особенности модификации структурно-фазового состояния и механических свойств сплава титана, имплантированного ионами алюминия, в "полизеренном" состоянии

Modification of polyvinyl alcohol surface properties by ion implantation