Субмикронные технологии/

Субмикронные технологии/

Bibliographic Details
Corporate Author:	Физико-технологический институт21 Российская Академия наук
Other Authors:	Репин, В. Н. (Editor)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М.: Наука 1995
Series:	Труды ФТИАН/Гл.ред.К.А.Валиев; Т.9
Subjects:	ионная имплантация плазменные процессы КНИ-структуры субмикронные технологии микротехнологии микроэлектроника
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Published: (1994)

Магниточувствительность субмикронных ионнолегированных слоев арсенида галлия
by: Карлова, Гелия Федоровна

Субмикронные интегральные схемы: элементная база и проектирование: монография/
by: Рындин Евгений Адальбертович, et al.
Published: (2001)

Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07/
by: Уемура, К. Кензуке
Published: (2011)

Ионная имплантация в металлы
by: Комаров, Фадей Фадеевич
Published: (1990)

Ионная имплантация
by: Комаров, Фадей Фадеевич
Published: (1994)

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
by: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Published: (2001)

Особенности формирования и локализации наноразмерных интерметаллидных фаз в системе Ti-Al в условиях ионной имплантации

The effect of As+ Ion implantation and annealing on the electrical properties of near-surface layers in graded-gap n-Hg0.78Cd0.22Te films

Оборудование ионной имплантации: производственно-практическое издание/
by: Симонов, В. В. Владимир Валентинович, et al.
Published: (1988)

Альтернативные технологии создания структур с квантовыми точками Ge/Si

Ионная имплантация в узкозонные твердые растворы CdxHg1-xTe
by: Талипов, Нияз Хатимович

Влияние имплантации ионов As+ и последующего отжига на электрические свойства приповерхностных слоев варизонных пленок n-Hg0.78Cd0.22Te

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Published: (2014)

Применение ионной имплантации в геммологии

Роль размера зерен поликристаллического титана в формировании концентрационных профилей имплантируемых ионов алюминия

Влияние воздействия ионов алюминия на размер зерна ультрамелкозернистого титана
by: Никоненко, Алиса Владимировна

Влияние ионной имплантации на структурно-фазовое состояние и коррозионные свойства титана с различным размером зерна

Ионная имплантация алмаза

Ion implantation in β-Ga2O3: Physics and technology

Дефекты в имплантированных мышьяком р+n- и n+p-структурах на основе пленок CdHgTe, выращенных МЛЭ

Ion implantation in narrow-gap CdxHg1-xTe solid solutions
by: Talipov, Niyaz Kh

Analysis of carrier species in arsenic-implanted p- and n-type Hg0.7Cd0.3Te

Современные технологии производства интегральных схем [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки "Автоматизация технологических процессов и производств"]
by: Ланина, Эльвира Прокопьевна
Published: (2022)

Модификация структуры и свойств твердых тел пучками тяжелых ионов высоких энергий: монография/
by: Гольцев, М. В. Михаил Всеволодович, et al.
Published: (2006)

Формирование наноразмерных интерметаллидных фаз в условиях имплантации ионами алюминия титановых мишеней

Structural phase states in nickel-titanium surface layers doped with silicon by plasma immersion ion implantation

Электрофизические характеристики МДП-структур на основе МЛЭ КРТ после ионной имплантации бора

Имплантация ионов бора в варизонные эпитаксиальные пленки МЛЭ КРТ

Admittance studies of modification of HgCdTe surface properties with ion implantation and thermal annealing

Influence of As+ Ion implantation on properties of MBE HgCdTe near-surface layer characterized by metal-insulator-semiconductor techniques

Электронная промышленность научно-технический сборник : [журнал]
Published: (1970)

Исследование методом спектроскопии адмиттанса МДП-структур на основе МЛЭ Hg1-xCdxTe после ионной имплантации бора

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Структурные закономерности формирования интерметаллидных наноразмерных фаз в процессе ионной имплантации
by: Курзина, Ирина Александровна

Медицинский полиуретан с улучшенной биосовместимостью после обработки методом ионной имплантации

Влияние имплантации ионами Ag, C и Ar на поверхностные характеристики полилактида и политетрафторэтилена

Особенности модификации структурно-фазового состояния и механических свойств сплава титана, имплантированного ионами алюминия, в "полизеренном" состоянии

Formation of intermetallic layers at high intensity ion implantation