Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Наука
1987
|
| Series: | Труды института общей физики/Гл.ред.тр.ИОФАН А.М.Прохоров;
Т.8 |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |