APA (7th ed.) Citation

Академия наук СССР & Махвиладзе Т.М. Отв.ред. (1987). Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей. Наука.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Академия наук СССР and Махвиладзе Т.М. Отв.ред. Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей. М.: Наука, 1987.

MLA (8th ed.) Citation

Академия наук СССР and Махвиладзе Т.М. Отв.ред. Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей. Наука, 1987.