Академия наук СССР & Махвиладзе Т.М. Отв.ред. (1987). Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей. Наука.
Chicago-стиль цитированияАкадемия наук СССР and Махвиладзе Т.М. Отв.ред. Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей. М.: Наука, 1987.
MLA-цитированиеАкадемия наук СССР and Махвиладзе Т.М. Отв.ред. Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей. Наука, 1987.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.
