|
|
|
|
| LEADER |
01645nam a2200265 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000020925 |
| 008 |
060815s1987 ru_ l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Проблемы литографии в микроэлектронике:
|b Сборник статей/
|c Ред.Т.М. Махвиладзе; АН СССР
|
| 260 |
|
|
|a М.:
|b Наука
|c 1987
|
| 300 |
|
|
|a 152 с.
|
| 440 |
|
0 |
|a Труды института общей физики/Гл.ред.тр.ИОФАН А.М.Прохоров;
|v Т.8
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 1
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235951
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235953
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235954
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235945
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235948
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235949
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i П781
|p 235950
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77
|
| 700 |
1 |
|
|a Махвиладзе Т.М.
|c Отв.ред.
|4 edt
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Академия наук СССР
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/П781-940951
|
