Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Наука
1987
|
| Серии: | Труды института общей физики/Гл.ред.тр.ИОФАН А.М.Прохоров;
Т.8 |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |