Проблемы литографии в микроэлектронике: Сборник статей/
| Соавтор: | Академия наук СССР |
|---|---|
| Другие авторы: | Махвиладзе Т.М. Отв.ред (Редактор) |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Наука
1987
|
| Серии: | Труды института общей физики/Гл.ред.тр.ИОФАН А.М.Прохоров;
Т.8 |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/
по: Валиев, К. А. Камиль Ахметович, et al.
Публикация: (1984) -
Нарымские литографии художника
по: Колосова, Галина Иосифовна 1946-2021 -
Физика субмикронной литографии: научное издание/
по: Валиев Камиль Ахметович
Публикация: (1990) -
Гравюры и литографии советских художников: альбом/
Публикация: (1975) -
Материаловедение в микроэлектронике: /
по: Палатник, Л. С. Лев Самойлович, et al.
Публикация: (1978)
