Технологические проблемы микроэлектроники: Сборник статей/
| Other Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Наука
1988
|
| Series: | Труды института общей физики/Гл.ред.А.М.Прохоров;
Т.14 |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |