Технологические проблемы микроэлектроники: Сборник статей/
| Другие авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Наука
1988
|
| Серии: | Труды института общей физики/Гл.ред.А.М.Прохоров;
Т.14 |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 176 с. |
|---|