Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: материалы первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.)/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Институт "Электроника"
1969
|
| Series: | Труды конференций по электронной технике;
Вып.2 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |