Министерство электронной промышленности СССР(М.) & Кутолин С.А. (1969). Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: материалы первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.). Институт "Электроника".
Chicago-стиль цитированияМинистерство электронной промышленности СССР(М.) and Кутолин С.А. Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: материалы первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.). М.: Институт "Электроника", 1969.
MLA-цитированиеМинистерство электронной промышленности СССР(М.) and Кутолин С.А. Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: материалы первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.). Институт "Электроника", 1969.
