Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: материалы первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.)/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Институт "Электроника"
1969
|
| Серии: | Труды конференций по электронной технике;
Вып.2 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 124 с |
|---|