APA (7th ed.) Citation

Толливер, Д. Л. Д., Новицки, Р. С. Р., Хесс, Д. У. Д., Горчика, Т. Б., Горовитц, Б. Б., Золотарев, Ю. М., . . . Браун, Д. М. Д. (1987). Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Мир.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Толливер, Д. Л. Дональд, et al. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. М.: Мир, 1987.

MLA (8th ed.) Citation

Толливер, Д. Л. Дональд, et al. Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. Мир, 1987.