Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ./

Bibliographic Details
Main Authors:	Толливер, Д. Л. Дональд (Author), Новицки, Р. С. Рональд (Author), Хесс, Д. У. Деннис (Author), Горчика, Т. Б. (Author), Горовитц, Б. Бернард (Author)
Other Authors:	Золотарев, Ю. М. (Translator), Юдин, В. В. (Translator), Машкова, Е. С. (Translator), Айнспрук, Н. Норман (Editor), Браун, Д. М. Дейл (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: Мир 1987
Subjects:	СБИС плазменная обработка производство
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items