Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович (Author), Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author)
Corporate Author:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Шандра, З. А. (Editor)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск: Издательство Томского университета 1991
Subjects:	микроэлектроника учебные пособия металлические пленки резистивные пленки диэлектрические пленки тонкие пленки
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items