Воробьев, Г. А. Г. А., Данилина, Т. И. Т. И., Смирнова, К. И. К. И., & Шандра, З. А. (1991). Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. Издательство Томского университета.
Chicago-стиль цитированияВоробьев, Г. А. Григорий Абрамович, Т. И. Тамара Ивановна Данилина, К. И. Клара Ивановна Смирнова, and З. А Шандра. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. Томск: Издательство Томского университета, 1991.
MLA-цитированиеВоробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. Издательство Томского университета, 1991.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.