APA (7th ed.) Citation

Воробьев, Г. А. Г. А., Данилина, Т. И. Т. И., Смирнова, К. И. К. И., & Шандра, З. А. (1991). Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. Издательство Томского университета.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, Т. И. Тамара Ивановна Данилина, К. И. Клара Ивановна Смирнова, and З. А Шандра. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. Томск: Издательство Томского университета, 1991.

MLA (8th ed.) Citation

Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. Издательство Томского университета, 1991.