Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие/

Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович (Автор), Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы:	Шандра, З. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск: Издательство Томского университета 1991
Предметы:	микроэлектроника учебные пособия металлические пленки резистивные пленки диэлектрические пленки тонкие пленки
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007)

Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2008)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике: научное издание/
по: Иванов, Р. Д. Роберт Дмитриевич
Публикация: (1980)

Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат)/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2007)

Тонкие плёнки в микроэлектронике: (Физика твёрдого тела): Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
по: Смирнова, К. И. Клара Ивановна
Публикация: (2003)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике: научное издание/
по: Румак Николай Владимирович, et al.
Публикация: (1990)

Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике
Публикация: (1972)

Магнитные тонкие пленки/
по: Суху, Р. Рональд
Публикация: (1967)

Диэлектрические пленки в микроэлектронике: научное издание/
по: Корзо, В. Ф. Виктор Федорович, et al.
Публикация: (1977)

Электрические явления в тонких пленках (Избранные главы из книги Thin film phenomena): Монография : Пер. с англ./
по: Чопра, К. Л.
Публикация: (1972)

Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции: Монография : Пер. с англ./
Публикация: (1982)

Физико-химические основы технологии электронных средств: методические указания по выполнению тематических рефератов/
по: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Публикация: (2006)

Тонкие пленки Взаимная диффузия и реакции
Публикация: (1982)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
по: Югов, Владимир Алексеевич
Публикация: (1964)

Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1977)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки Физика и применения
Публикация: (1983)

Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот: научное издание/
по: Слуцкая, В. В. Валентина Викторовна
Публикация: (1967)

Структура границ раздела в тонких пленках
по: Попов, Е. О.

Технология тонкопленочных микросхем: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Инженерные основы пленочной микроэлектроники/
по: Иванов-Есипович, Н. К. Никита Константинович
Публикация: (1968)

Электропроводность тонких диэлектрических пленок: Учебное пособие/
по: Кунин, В. Я. Вадим Яковлевич, et al.
Публикация: (1981)

Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11/
по: Щерб, С. Ш.
Публикация: (1973)

Островковые металлические пленки/
по: Трусов, Л. И. Лев Ильич, et al.
Публикация: (1973)

Вопросы электроники твердого тела на диэлектриках и полупроводниках: по материалам респ. науч.-технической конф. по элементам радиоэлектронных устройств и микроэлектроники на диэлектриках/
Публикация: (1967)

Диэлектрические пленки в микроэлектронике
по: Корзо, Виктор Федорович
Публикация: (1977)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Исследование формирования и деградации тонких металлических пленок в различных условиях
по: Шугуров, Артур Рубинович

Технология тонкопленочных микросхем: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
Публикация: (2007)

Газочуствительные свойства диэлектрических слоев на GaAs полученных термическим окислением в присутствии соединений - активаторов
по: Миттова, Ирина Яковлевна

Электропроводность и деградационные процессы в формованной тонкопленочной структуре металл-диэлектрик-металл на основе оксинитрида кремния диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
по: Лубсанов, Ринчин Балданович
Публикация: (1986)

Материаловедение в микроэлектронике
по: Палатник, Лев Самойлович
Публикация: (1978)

Получение и свойства тонких пленок: Сборник научных трудов/
Публикация: (1982)

Особенности кинетики формирования отклика при воздействии водорода и метана на тонкие пленки Pt/SnO2:Sb
по: Мазалов, С. М.

Проблемы субмикронной технологии Сборник статей
Публикация: (1993)

Тонкие ферромагнитные пленки
Публикация: (1964)

Сверхпроводниковая электроника указатель отечественной и иностранной литературы
Публикация: (1991)

Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2005)

Зависимость характеристик сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3 от их микроструктуры
по: Юркин, Д. М.

Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Сахаров, Ю. В. Юрий Владимирович
Публикация: (2006)

Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Сахаров, Ю. В. Юрий Владимирович
Публикация: (2006)