Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович (Автор), Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы:	Шандра, З. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск: Издательство Томского университета 1991
Предметы:	микроэлектроника учебные пособия металлические пленки резистивные пленки диэлектрические пленки тонкие пленки
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы