Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике: научное издание/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Минск:
Навука i тэхнiка
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 190[2] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 181-189 |
| ISBN: | 5343005403 |