Бурдовицын, В. А. В. А., & Воробьев, Г. А. Г. А. (1981). Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи.
Chicago Style (17th ed.) CitationБурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич, and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. Томск, 1981.
MLA (8th ed.) CitationБурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич, and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. 1981.