Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/

Похожие документы

• Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./
  по: Смирнова, К. И.
  Публикация: (1971)
• Эмиссионные свойства структур металл-диэлектрик-металл на основе пленок оксинитрида кремния. Спец.01.04.04-Физич. электроника, в т. ч. квантовая: диссертация на соиск. уч. ст. канд. физ. -мат. наук. На правах рукописи/
  по: Галанский Владимир Лазаревич
  Публикация: (1979)
• Электропроводность и деградационные процессы в формованной тонкопленочной структуре металл-диэлектрик-металл на основе оксинитрида кремния диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
  по: Лубсанов, Ринчин Балданович
  Публикация: (1986)
• Высокотемпературное газостатическое уплотнение нитрида кремния
  по: Криль, Ярослав Антонович
  Публикация: (1993)
• Взрывной синтез и спекание кубического нитрида кремния