Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Новосибирск
1982
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |