Беркин, А. Б. А. Б., & Гулько, Б. Н. (1982). Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи.
Chicago-стиль цитированияБеркин, А. Б. Александр Борисович, and Б. Н Гулько. Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. Новосибирск, 1982.
MLA-цитированиеБеркин, А. Б. Александр Борисович, and Б. Н Гулько. Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. 1982.