Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Новосибирск
1982
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 246 с.: а-ил |
|---|
