Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/

Библиографическая информация
Главный автор: Беркин, А. Б. Александр Борисович (Автор)
Соавтор: Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР(Новосибирск) Новосибирский электротехнический институт
Другие авторы: Гулько, Б. Н.
Формат: Книга
Публикация: Новосибирск 1982
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР