Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/

Bibliographic Details
Main Author:	Мотошкин Виктор Владимирович (Author)
Corporate Author:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович
Format:	Book
Published:	Томск 1979
Subjects:	электролитическое анодирование газовое анодирование катодное распыление диссертации диэлектрические пленки вакуумная электроника анодирование
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items