Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/

Bibliographic Details
Main Author: Мотошкин Виктор Владимирович (Author)
Corporate Author: Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович
Format: Book
Published: Томск 1979
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 02184nam a2200277 i 4500
001 LibTUSUR0000021195
008 060815s1979 ru_а l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Мотошкин  |q Виктор Владимирович  |4 aut 
245 0 0 |a Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.:   |b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/  |c Виктор Владимирович Мотошкин; Науч.рук. Г. А. Воробьев; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники 
260 |a Томск  |c 1979 
300 |a 191 с.:  |b а-ил 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a электролитическое анодирование 
653 0 |a газовое анодирование 
653 0 |a катодное распыление 
653 0 |a диссертации 
653 0 |a диэлектрические пленки 
653 0 |a вакуумная электроника 
653 0 |a анодирование 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i М 855  |p 277438  |b сбо 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.7  |i М 855  |p 277439  |b сбо 
080 |a 621.793.1(043.3) 
700 1 |a Воробьев, Г. А.  |q Григорий Абрамович 
710 2 1 |a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.7/М 855-785674