Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/

Похожие документы

• Плазменное анодирование: Физика, техника, применение в микроэлектронике: научное издание/
  по: Пархутин, В. П. Виталий Петрович, et al.
  Публикация: (1990)
• Электрические и фотоэлектрические характеристики гетеропереходов с-Si/пористый – Si/CdS
• Получение покрытий анодно-искровым электролизом: производственно-практическое издание/
  по: Черненко, В. И. Владимир Иванович, et al.
  Публикация: (1991)
• Получение наноструктурных пористых материалов электрохимическим анодированием алюминия
• Оксидирование алюминия и его сплавов/
  по: Шрейдер, А. В. Александр Викторович
  Публикация: (1960)