Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
| Main Author: | Мотошкин Виктор Владимирович (Author) |
|---|---|
| Corporate Author: | Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники |
| Other Authors: | Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
1979
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Плазменное анодирование: Физика, техника, применение в микроэлектронике: научное издание/
by: Пархутин, В. П. Виталий Петрович, et al.
Published: (1990) - Электрические и фотоэлектрические характеристики гетеропереходов с-Si/пористый – Si/CdS
-
Получение покрытий анодно-искровым электролизом: производственно-практическое издание/
by: Черненко, В. И. Владимир Иванович, et al.
Published: (1991) - Получение наноструктурных пористых материалов электрохимическим анодированием алюминия
-
Оксидирование алюминия и его сплавов/
by: Шрейдер, А. В. Александр Викторович
Published: (1960)
