Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
| Главный автор: | Мотошкин Виктор Владимирович (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники |
| Другие авторы: | Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск
1979
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Плазменное анодирование: Физика, техника, применение в микроэлектронике: научное издание/
по: Пархутин, В. П. Виталий Петрович, et al.
Публикация: (1990) - Электрические и фотоэлектрические характеристики гетеропереходов с-Si/пористый – Si/CdS
-
Получение покрытий анодно-искровым электролизом: производственно-практическое издание/
по: Черненко, В. И. Владимир Иванович, et al.
Публикация: (1991) - Получение наноструктурных пористых материалов электрохимическим анодированием алюминия
-
Оксидирование алюминия и его сплавов/
по: Шрейдер, А. В. Александр Викторович
Публикация: (1960)
