Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов/
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.
1985
|
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |