Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Московский институт электронной техники & Блинов, И. Г. (1985). Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов.
Chicago-стиль цитированияМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Московский институт электронной техники and И. Г Блинов. Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов. Ðœ, 1985.
MLA-цитированиеМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Московский институт электронной техники and И. Г Блинов. Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов. 1985.