Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.
1985
|
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 120 с. |
|---|