|
|
|
|
| LEADER |
01611nam a2200205 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000021862 |
| 008 |
060815s1985 ru_ l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники:
|b Сборник научных трудов/
|c Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Московский Институт электронной техники; Ред. И. Г. Блинов
|
| 260 |
|
|
|a М.
|c 1985
|
| 300 |
|
|
|a 120 с.
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i М744
|p 1
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i М744
|p 2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i М744
|p 232253
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i М744
|p 232251
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77.002.5.001.24
|
| 700 |
1 |
|
|a Блинов, И. Г.
|4 edt
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21
|a Московский институт электронной техники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/М744-625849
|
