Моделирование и расчет элементов устройств технологического оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов/
| Соавтор: | Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Московский институт электронной техники |
|---|---|
| Другие авторы: | Блинов, И. Г. (Редактор) |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.
1985
|
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/
по: Сазонов, А. А. Александр Афанасьевич, et al.
Публикация: (1991) -
Расчет комплексов оборудования микроэлектроники/
по: Корнилов, Р. В. Ростислав Васильевич, et al.
Публикация: (1979) -
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Учебное пособие для приборостроит. спец. вузов
Публикация: (1991) -
Основы проектирования элементов технологического оборудования Учебное пособие
по: Черепанов, Лев Борисович
Публикация: (2001) -
Вопросы создания и оптимизации оборудования микроэлектроники: Сборник научных трудов/
Публикация: (1984)
