Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Междувед. тематич. науч. сборник. Вып. 9/Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова; Ред. Д. А. Сеченов

Bibliographic Details
Corporate Author: Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Таганрогский государственный радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова
Other Authors: Сеченов, Д. А. (Editor)
Format: Book
Published: Таганрог: ТРТИ
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР