Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Таганрогский государственный радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова & Сеченов, Д. А. Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Междувед. тематич. науч. сборник. ТРТИ.
Chicago-стиль цитированияМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Таганрогский государственный радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова and Д. А Сеченов. Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Междувед. тематич. науч. сборник. Таганрог: ТРТИ.
MLA-цитированиеМинистерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Таганрогский государственный радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова and Д. А Сеченов. Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Междувед. тематич. науч. сборник. ТРТИ.