Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Междувед. тематич. науч. сборник. Вып. 9/Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова; Ред. Д. А. Сеченов
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Таганрог:
ТРТИ
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 152 с.: а-ил. |
|---|