Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.. Т. 1/Н. В. Василенко, Евгений Николаевич ИвановЛев Кузьмич Ковалев ; ред. : Лев Кузьмич Ковалев, Н. В. Василенко

Библиографическая информация
Главные авторы: Василенко, Н. В. Николай Васильевич (Редактор), Иванов Евгений Николаевич (Автор), Ковалев Лев Кузьмич (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: Красноярск: Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии 1995
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР