Василенко, Н. В. Н. В., Иванов Евгений Николаевич, & Ковалев Лев Кузьмич. (1995). Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т. Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии.
Chicago-стиль цитированияВасиленко, Н. В. Николай Васильевич, Иванов Евгений Николаевич, and Ковалев Лев Кузьмич. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т. Красноярск: Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии, 1995.
MLA-цитированиеВасиленко, Н. В. Николай Васильевич, et al. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т. Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии, 1995.