Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.. Т. 1/Н. В. Василенко, Евгений Николаевич ИвановЛев Кузьмич Ковалев ; ред. : Лев Кузьмич Ковалев, Н. В. Василенко
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
Красноярск:
Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии
1995
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 256 с.: а-ил |
|---|