Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.. Т. 1/Н. В. Василенко, Евгений Николаевич ИвановЛев Кузьмич Ковалев ; ред. : Лев Кузьмич Ковалев, Н. В. Василенко

Bibliographic Details
Main Authors: Василенко, Н. В. Николай Васильевич (Editor), Иванов Евгений Николаевич (Author), Ковалев Лев Кузьмич (Editor)
Format: Book
Published: Красноярск: Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии 1995
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01738nam a2200241 i 4500
001 LibTUSUR0000023020
008 060815s1995 ru_а l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Василенко, Н. В.  |q Николай Васильевич  |4 aut 
245 0 0 |a Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники:  |b Учебник для вузов: В 2 т..  |p Т. 1/Н. В. Василенко, Евгений Николаевич ИвановЛев Кузьмич Ковалев ; ред. : Лев Кузьмич Ковалев, Н. В. Василенко 
260 |a Красноярск:  |b Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии  |c 1995 
300 |a 256 с.:  |b а-ил 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a вакуумная техника 
653 0 |a тонкие пленки 
653 0 |a учебные пособия 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.5  |i В-148  |p 285178  |b аунл 
080 |a 621.52(075.8)  |a 621.793(075.8) 
700 1 |a Иванов  |q Евгений Николаевич  |4 aut 
700 1 |a Ковалев  |q Лев Кузьмич  |4 aut 
700 1 |a Ковалев  |q Лев Кузьмич  |4 edt 
700 1 |a Василенко, Н. В.  |q Николай Васильевич  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.5/В-148-899727