Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.. Т. 1/Н. В. Василенко, Евгений Николаевич ИвановЛев Кузьмич Ковалев ; ред. : Лев Кузьмич Ковалев, Н. В. Василенко

Bibliographic Details
Main Authors: Василенко, Н. В. Николай Васильевич (Editor), Иванов Евгений Николаевич (Author), Ковалев Лев Кузьмич (Editor)
Format: Book
Published: Красноярск: Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии 1995
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР